有機基板微細配線パターン開発環境 ASIC-Wide I/O2やASIC-HBM等メモリー間の2.1/ 2.5D 実装向けた微細配線基板開発環境の提供 超微細銅めっきパターン開発TEG 2.1D/2.5D実装用インターポーザの微細配線形成プロセス評価を目的とするTEG