メンテナンス

スパッタ装置の故障について

　　 スパッタ装置に関しまして、部品の故障により、只今装置のご利用ができません。
　 　現在メーカーに調査・修理依頼をしておりますが、現時点で復旧予定日は未定となっております。
　　 お客様にはご迷惑をおかけいたしますが、 何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます 。
　　 ※利用開始時期がわかり次第、お知らせいたします。

　　　⇒5月30日(木)に部品を交換し、現在は通常どおりご利用いただけます。

【重要】装置利用停止及び施設利用制限について 2

三次元半導体研究センター　ご利用の皆様
いつも当センターをご利用いただき、誠にありがとうございます。
施設改修工事に伴い、下記のとおり、一部装置をご利用頂けません。
また、安全を考慮し、施設内の一部エリアについて、立入りを制限させていただきます。
お客様にはご迷惑をおかけいたしますが、 何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます 。
（2018/10/15掲載分の追加連絡となります。）
記

期間 利用停止する装置 立入制限エリア
2018/10/29～30 ソフトエッチ水洗装置 ―
10/31 基板用現像装置
レジスト剥離装置
その他、水平ラインの装置		 水平エリア
11/1～4 ソフトエッチ水洗装置 ―
11/5 基板用現像装置
レジスト剥離装置
その他、水平ラインの装置		 水平エリア
11/6～7 ソフトエッチ水洗装置 ―
以上

【重要】装置利用停止及び施設利用制限について

三次元半導体研究センター　ご利用の皆様
いつも当センターをご利用いただき、誠にありがとうございます。
施設改修工事に伴い、下記のとおり、一部装置をご利用頂けません。
また、安全を考慮し、施設内の一部エリアについて、立入りを制限させていただきます。
お客様にはご迷惑をおかけいたしますが、 何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます 。
記

期間 利用停止する装置 立入制限エリア
2018/10/17 鉛フリー対応N2リフロー装置 ―
10/17～19 基板用現像装置
レジスト剥離装置
その他、水平ラインの装置		 水平エリア
10/19 PM～10/22 AM リアクティブイオンエッチャー
絶縁膜形成装置
チタン／Cu　スパッタ
酸化膜エッチング装置		 ―
10/19 17:00～10/22 AM ＦＥ－ＳＥＭ
ＦＩＢ		 ―
10/22～24 デスミア装置
基板用無電解めっき装置
その他、めっきラインの装置		 めっきエリア
10/24,27(土) 大型基板対応フリップチップボンダ
鉛フリー対応N2リフロー装置
その他、実装エリアの装置		 実装エリア
以上

スパッタ装置の故障について

スパッタ装置に関しまして、10/6（土）の台風25号による停電の影響で、
装置が停止し只今ご利用ができません。現在、メーカーに修理依頼をしております。
お客様にはご迷惑をおかけいたしますが、 何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます 。
※利用開始時期がわかり次第、お知らせいたします。

5月8日(火)クリーンルーム内 一部装置利用停止について

　　　5月8日(火)に窒素ガス発生装置のメンテナンスを実施いたします。
　　　それに伴い、クリーンルーム内の一部装置が終日利用不可となっております。
　　　お客様にはご迷惑をおかけいたしますが、何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます。
　　　対象となる装置は以下の物です。
　　　・FESEM・D-RIE（Si Echi）・CVD・スパッタ・10NR・PC1100 (プラズマクリーナー)・スピンコーター
　　　・デベロッパー・ステッパー・イナートオーブン・二流体洗浄装置・8インチリフロー・カップ式銅めっき
　　　・スピン洗浄・FIB

スピンコーターの故障について

スピンコーターに関しまして、
エラーにより、装置が停止し只今装置のご利用ができません。
現在、メーカーに修理依頼をしておりますので、
お客様にはご迷惑をおかけいたしますが、
何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます 。
※利用開始時期がわかり次第、お知らせいたします。
⇒3月27日(火)に部品を交換し、現在は通常通りご利用頂けます。

プリント基板外形加工機の故障について

プリント基板外形加工機に関しまして、
通信エラーにより、装置が停止し只今装置のご利用ができません。
現在、メーカーに修理依頼をしておりますので、
お客様にはご迷惑をおかけいたしますが、
何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます 。
※利用開始は、10月27日頃を予定しております。
変更がありましたら、お知らせいたします。

フリップチップボンダ装置のメンテナンスについて

フリップチップボンダに関しまして、認識カメラの故障により
只今装置のご利用ができません。
下記のとおり実施させていただきますので、
よろしくご承知おきくださいますようお願い申し上げます。
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実施期間：平成29年７月13日から11月下旬まで
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実施期間は、予定となっておりますので、
変更等がございましたら、わかり次第お知らせいたします。　

　装置メンテナンスについてのお知らせ

ご利用者様 各位
日頃より三次元半導体研究センターをご利用いただき誠にありがとうございます。
下記の装置について、平成29年3月6日~4月3日までの間にメンテナンスを実施するため、
一部装置がご利用頂けません。
お客様にはご迷惑をおかけいたしますが、 何卒ご理解いただきますようお願い申し上げます。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
装置名 実施期間 利用開始予定
真空プレス装置 ３/６(月)～３/９(木) ３月１３日(月)
FIB ３/９(木)～３/１６(木) ３月２１日(火)
ｽﾄﾚｽﾘﾘｰﾌ装置（CMP） ３/６(月)～３/３１(金) ４月３日(月)
※実施期間は、予定となっておりますので、変更等がございましたらわかり次第お知らせいたします。
※ストレスリリーフ装置の実施期間が延長しております。
※なお期間中に緊急のご用やお問い合わせ等がございましたらご連絡ください。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　以上

　予熱ラミネーター装置のメンテナンスについてのお知らせ

  • 予熱ラミネーターにつきまして、ロールのメンテナンスのため
    只今装置のご利用ができません。
    下記のとおり実施させていただきますので、
    よろしくご承知おきくださいますようお願い申し上げます。
    ---------------------------------------------------------------------
    実施期間：平成27年11月13日から12月9日まで
    利用再開：平成27年12月10日（木）よりを予定しております
    ---------------------------------------------------------------------
    実施期間は、予定となっておりますので、変更等がございましたらわかり次第お知らせいたします。
    ※実施期間が12月4日予定でしたが、11日まで延びております。誠に申し訳ありませんが、ご調整の程よろしくお願い致します。
    ※実施期間が12月11日まで延びておりましたが、9日までとなりましたのでよろしくお願いします。
    なお期間中に緊急のご用やお問い合わせ等がございましたらご連絡ください。

  • （公財）福岡県産業・科学技術振興財団
    三次元半導体研究センター事務室
    ℡：092-331-8550
    E-mail：admin@jiss.ist.or.jp