三次元半導体研究センター テクニカルWeb
三次元半導体研究センターは、半導体関連製品の高密度化を図るため、複数の半導体チップを三次元に蓄積するために必要な研究開発、試作・評価をする、実装機器、評価機器を整備した拠点施設です。
〒819-1122
福岡県糸島市東1963-4 TEL.092-331-8550
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TSVTEG (Via Last)-HPW0101
TSVTEG (Via Last)-HPW0101 ~株式会社WALTS社共同開発~
TSVを三次元積層した際の発熱による評価解析を行うためのテストチップ開発を行い企業開発に貢献する
【
HPW0101仕様
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【プロセス課題
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